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城石啃四村霍西工業(yè)區(qū)
工業(yè)二路

蝕刻工藝可能出現(xiàn)突沿的情況

  在圖形電鍍-蝕刻工藝中,由于鍍銅后再鍍錫-鉛金屬層,或其它金屬層,它們的總厚度與抗蝕層的厚度不一致,可能出現(xiàn)三種情況:

  電鍍層的總厚度小于抗蝕層的厚度,電鍍層不會(huì)增寬。

  電鍍銅層的總厚度小于抗蝕層厚度,而電鍍錫-鉛合金層厚度與電鍍銅層厚度之和大于抗蝕層厚度時(shí),僅鍍錫-鉛合金的寬度增寬。

  電鍍銅厚度超過抗蝕刻層厚度,這時(shí)不僅電鍍銅層的線寬增寬而且以后的鍍錫-鉛合金層或其它金屬鍍層也要隨之進(jìn)一步增寬。

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